INSP - Institut des Nanosciences de Paris

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	hal-03601084v1 Journal articles Sergey Grachev, Quentin Hérault, Jun Wang, Matteo Balestrieri, Hervé Montigaud et al. A new method for high resolution curvature measurement applied to stress monitoring in thin ﬁlms Nanotechnology, Institute of Physics, 2022, 33 (18), ⟨10.1088/1361-6528/ac4a2a⟩
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