Identification des propriétés élastiques et du chargement d'une structure micrométrique par mesure de champs

Fabien Amiot (1, 2) , François Hild (1) , Jean-Paul Roger (2)

1 LMT - Laboratoire de Mécanique et Technologie
2 LOP - Laboratoire d'Optique Physique (UPR0005)

A shear-interferometer, which is suitable for measuring the displacement field of MEMS, is developed. An unknown electrostatic load is applied to a microcantilever (70 × 20 × 1.2μm3). The identification of the elastic properties of the cantilever is difficult because of the unknown loading. An identification technique is derived from the “equilibrium gap method” to solve this problem. The displacement field measured by the shear interferometer is used to identify simultaneously the loading type, heterogeneous loading parameters and the heterogeneous elastic properties of the cantilever.

L’utilisation d’un dispositif interférométrique permet la mesure du champ de déplacement de MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems). On impose à un microlevier (70 × 20 × 1.2μm3) un chargement mécanique sans contact, sans pouvoir faire d’hypothèse sur le type de chargement. Le problème d’identification des propriétés élastiques du levier est alors difficile du fait des inconnues sur le chargement. On présente alors une technique d’identification basée sur une “méthode d’écart à l’équilibre” permettant de résoudre ce problème.

Mots clés: méthode optique de mesure de champ; MEMS; identification de propriétés et de chargement; méthode optique de mesure de champ

Domaines: Mécanique [physics.med-ph]

Fabien Amiot, François Hild, Jean-Paul Roger. Identification des propriétés élastiques et du chargement d'une structure micrométrique par mesure de champs. 17e Congrès français de mécanique, Aug 2005, Troyes, France. ⟨hal-04262515⟩