Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)

Yvon Cordier (1) , Aude Le Cotonnec (1) , Sébastien Chenot (2) , Nicolas Baron (3) , Nacer Farih (4) , Marie-Paule Besland (4) , Antoine Goullet (4) , Mario El Kazzi (5) , Philippe Regreny (5) , Guy Hollinger (5) , Hervé Lhermite (6)

1 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2 INSP - Institut des Nanosciences de Paris
3 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
4 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
5 INL - H&N - INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
6 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Yvon Cordier, Aude Le Cotonnec, Sébastien Chenot, Nicolas Baron, Nacer Farih, et al.. Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111). International Workshop on Nitride Semiconductors, Oct 2008, Montreux, Switzerland. ⟨hal-00540445⟩