High mechanical stress applied to FD-SOI transistors using ultra thin Silicon membranes

B. Bercu (1) , L. Montès (2, 1) , F. Rochette (1) , M. Mouis (1) , X. Xin (1) , P. Morfouli (3, 1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 iSTeP - Institut des Sciences de la Terre de Paris
3 CETHIL - Centre de Thermique de Lyon

Domaines: Optique / photonique

B. Bercu, L. Montès, F. Rochette, M. Mouis, X. Xin, et al.. High mechanical stress applied to FD-SOI transistors using ultra thin Silicon membranes. International Semiconductor Conference, Oct 2009, Sinaia, Romania. pp.93-96. ⟨hal-00602999⟩