The study of mechanical stress in NEMS heterostructures

X. Xu; B. Bercu; F. Lime; L. Montès

Conference Papers Year : 2009

The study of mechanical stress in NEMS heterostructures

(1, 2) , (2) , , (3, 2)

1
2
3

X. Xu

Function : Author

Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology

Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

B. Bercu

Function : Author

Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

F. Lime

Function : Author

L. Montès

Function : Author

Institut des Sciences de la Terre de Paris

Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domains

Engineering Sciences [physics] Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Chahla Domenget : Connect in order to contact the contributor

https://hal.science/hal-00603888

Submitted on : Monday, June 27, 2011-3:40:36 PM

Last modification on : Tuesday, November 16, 2021-5:08:02 AM

Dates and versions

hal-00603888 , version 1 (27-06-2011)

Identifiers

HAL Id : hal-00603888 , version 1

Cite

X. Xu, B. Bercu, F. Lime, L. Montès. The study of mechanical stress in NEMS heterostructures. Proceedings of the 2009 NSTI Nanotechnology Conference, 2009, Houston, United States. pp.476-479. ⟨hal-00603888⟩

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