The study of mechanical stress in NEMS heterostructures Nanotech-MEMS & NEMS - Université Pierre et Marie Curie Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

The study of mechanical stress in NEMS heterostructures Nanotech-MEMS & NEMS

B. Bercu
  • Fonction : Auteur
F. Lime
  • Fonction : Auteur
L. Montès
  • Fonction : Auteur
Institut des Sciences de la Terre de Paris

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00603890

Soumis le : lundi 27 juin 2011-15:43:23

Dernière modification le : mercredi 12 avril 2023-09:43:49

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Dates et versions

hal-00603890 , version 1 (27-06-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00603890 , version 1

Citer

B. Bercu, F. Lime, L. Montès. The study of mechanical stress in NEMS heterostructures Nanotech-MEMS & NEMS. Proceedings in Nanotech 2009, May 2009, Houston, United States. pp.476-479. ⟨hal-00603890⟩

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