Nanowires in the Beyond CMOS and More than Moore perspectives : Electromechanical properties

M. Mouis (1) , L. Montés (2) , X. Xu (3) , J.W. Lee , F. Rochette , R. Hinchet , G. Ardila

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 iSTeP - Institut des Sciences de la Terre de Paris
3 Grenoble INP - Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

M. Mouis, L. Montés, X. Xu, J.W. Lee, F. Rochette, et al.. Nanowires in the Beyond CMOS and More than Moore perspectives : Electromechanical properties. SINANO-NANOSIL Workshop: "On the convergence between More Moore, More Than Moore and Beyond CMOS, Sep 2010, Seville, Spain. ⟨hal-00604929⟩