Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants - Université Pierre et Marie Curie Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Alexandra Siebert  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-01235612

Soumis le : lundi 30 novembre 2015-13:46:21

Dernière modification le : mercredi 6 mars 2024-09:16:32

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01235612 , version 1 (30-11-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01235612 , version 1

Citer

Pierre Prache, Jérôme Juillard, Nuria Barniol. Une nouvelle architecture pour les capteurs M/NEMS résonants. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2015), May 2015, bordeaux, France. ⟨hal-01235612⟩

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