Plasmas froids radiofréquence
Résumé
L'interaction d'un plasma froid faiblement ionisé et d'une surface semiconductrice est à l'origine des technologies de nanostructuration de la matière en microélectronique. Ces plasmas sont générés et entretenus par des champs électromagnétiques radiofréquence. La compréhension des mécanismes fondamentaux du couplage de l'énergie électromagnétique au plasma et de son transport vers les surfaces du réacteur est un enjeu majeur pour la maîtrise des procédés industriels utilisant les plasmas froids radiofréquence.