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Conference papers
Résistance au flux laser sub-picoseconde de couches d'HfO2 déposées par EBD
Adrien Hervy 1
Author IdHAL : hervyadrien
Laurent Gallais 2
Author IdHAL : laurent-gallais
Daniel Mouricaud 3
Author
G. Cheriaux 4
Author
1
ILM - Interaction Laser-Matière (828, boulevard des Maréchaux 91762 Palaiseau Cedex - France)
- LOA - Laboratoire d'optique appliquée (828, boulevard des Maréchaux 91762 Palaiseau Cedex - France)
- ENSTA Paris - École Nationale Supérieure de Techniques Avancées (828, boulevard des Maréchaux 91762 Palaiseau Cedex - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7639 (France)
2
ILM - ILM (France)
- FRESNEL - Institut FRESNEL (Faculté des Sciences et Techniques
avenue Escadrille Normandie Niemen
13 397 Marseille cedex 20 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7249/ UMR 6133 (France)
- ECM - École Centrale de Marseille (Pôle de l'étoile - Technopole de Château-Gombert - 38 rue Frédéric Joliot-Curie - 13013 Marseille - France)
- AMU - Aix Marseille Université : UMR7249/ UMR 6133 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France)
4
LOA - Laboratoire d'optique appliquée (828, boulevard des Maréchaux 91762 Palaiseau Cedex - France)
- ENSTA Paris - École Nationale Supérieure de Techniques Avancées (828, boulevard des Maréchaux 91762 Palaiseau Cedex - France)
- X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7639 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00854931
Contributor : Laurent Gallais Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, August 28, 2013 - 1:32:22 PM
Last modification on : Wednesday, May 11, 2022 - 3:22:05 PM
Contributor : Laurent Gallais Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, August 28, 2013 - 1:32:22 PM
Last modification on : Wednesday, May 11, 2022 - 3:22:05 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00854931, version 1
Collections
CNRS | X | X-LOA | EC-MARSEILLE | UNIV-AMU | ENSTA_LOA | ENSTA | PARISTECH | IF | X-DEP-PHYS
Citation
Adrien Hervy, Laurent Gallais, Daniel Mouricaud, G. Cheriaux. Résistance au flux laser sub-picoseconde de couches d'HfO2 déposées par EBD. Journée Couches Minces Optiques, 2013, Palaiseau, France. ⟨hal-00854931⟩
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