Mesure de champs de déplacements pour des MEMS
Résumé
An experimental set-up that allows one to measure in-plane and out-of-plane displacement fields of surfaces in reflection microscopy is presented. This set-up is based upon a Nomarski shear-interferometer, which is used with two different Wollaston prisms. The real topography of the object is deduced and divided into mean surface and roughness. The out-of-plane displacement field is obtained by difference of mean surfaces, while the in-plane displacement field is determined from the cross-correlation of the roughness profile. This set-up is then suitable to measure displacement fields of MEMS.
On présente un dispositif expérimental permettant la mesure de champs de déplacements plan et hors-plan de surfaces observées en réflexion. Il est basé sur un interféromètre de type Nomarski que l'on utilise avec deux prismes de Wollaston introduisant des décalages différents. La topographie de la surface peut être alors reconstruite et partagée en surface moyenne et rugosité. Le champ de déplacement hors-plan est obtenu par différence des surfaces moyennes, alors que le champ de déplacement plan est obtenu par intercorrélation de la rugosité. Ce dispositif permet la mesure de champs de déplacements à l'échelle du micromètre, et est donc adapté à la mesure de champs de déplacements d'objets micro-mécaniques.
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)